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光电产品在从研发进入大规模应用的过程，对设备和工艺的要求也从试验型生产（能做）向大型设备转化，随着应用规模的扩大和要求的提升，规模应用要求成本大幅降低、性能持续提升，这就要求从产品的做好向好做转变。目前，LED对MOCVD设备的要求正处于从“做好”向“好做”的状态转变。
要实现这种转变，必须要求设备及工艺从以下三个方面台提升：
- 产能大幅提升：主要包括“一大一高”，一大指单炉容量要大、外延尺寸要大；一高生产效率高，生产周期短；
- 合格率要有大幅提升：主要包括产品的可靠性、可重复性及可控性等来提升产品的性能保证。
- 成本要有明显降低降低：主要从降低原材料消耗、提升设备寿命、降低设备操作难度、增大生产规模以及与上下游产业的合作等方式实现。
另外，对于LED外延芯片企业来说，有效的设备培训及原材料认证也至关重要。
目前，MOCVD设备生产商正是按照这种行业要求来改进设备和对企业提供相关服务。以AIXTRON为例，通过双流模式向三流模式的转变以及三明治式托盘的应用来改善气流的均匀性和控制性、提升温度场的均匀性和变化来增加消耗品的寿命、通过操作平台的网络化及人性化来降低操作要求和难度，另外模式、托盘架构等方面通过气流喷嘴、喷淋头配件的技术提升来降低配件的更换次数和时间也大幅降低了成本。 |
